Microlithography : study of feasibility and realization of a table-top optical setup for zone plate microlithography working in the soft x-rays energy range : dottorato di ricerca in ingegneria dei microsistemi, 16. ciclo / dottoranda: Tania Limongi ; tutore: L. Palladino ; coordinatore: A. Tucciarone
2004.
1 v.
In testa al front.: Università degli studi di Roma Tor Vergata, Facoltà di ingegneria
BN 2005-1576T
ING-INF/04 - Automatica


Tesi di dottorato. | Lingua: Inglese. | Paese: IT. | BID: BNI0006283
Biblioteca Inventario Collocazione Fruizione status
Biblioteca Nazionale Centrale - Firenze TVD980401122 TDR 2004 01122 Lettura tesi in sede