Critical dimensions measurements by scanning probe microscopy / tutor: Gian Bartolo Picotto ; coordinator: Raffaello Levi ; doctorate student: Alberto Pasquini
2005.
1 v.
17. ciclo
In testa al front.: Politecnico di Torino, Facoltà di ingegneria, dottorato in metrologia, scienza e tecnica della misura
BN 2006-7487T
ING-INF/07 - Misure elettriche e elettroniche


Tesi di dottorato. | Lingua: Inglese. | Paese: IT. | BID: BNI0018791
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Biblioteca Nazionale Centrale - Firenze TVD980506658 TDR 2005 06658 Lettura tesi in sede
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